ウェット式エッチング装置
エッチング処理やレジスト除去する装置
半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、
X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。
クリーンルーム仕様で、ドラフト構造になっています。
特徴CHARACTERISTIC
●発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。
●使用不可となった薬液（フッ酸、 塩化鉄）と、有機溶剤（アセトン）は付設の専用タンクへ一括排出。
●クリーンルームでも使用できるドラフト構造。
●薬液槽、及び純水槽にはＮ２ガス散気システムを装備。バブリングにより、各液体の混合と、
高レベルの洗浄効果を発揮。
●薬液槽はすべてＰＶＣ製トレイ上に設置。さらにアセトン槽には、ＳＵＳ製トレイを設け、
液ダレやオーバーフロー、排水への薬液混入に対処。
●処理工程プログラムは、１０パターンを任意で設定可能。複雑な処理工程も、多彩なワークで対応。
●自動消火システムと炎検知センサーにより、万が一の発火にも、
ＣＯ２ガス噴射ですばやい消火が可能。