レジスト液加湿塗布装置
薬液をスプレー塗布する装置
半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。
標準仕様SPEC
| 材質 | 本体 鋼板製 塗布部 塩ビ製 |
|---|---|
| ユ－ティリティ | 純水１／４ＲＣ 圧縮空気１／４ＲＣ 排水１／４ＲＣ |
| 外形寸法 | Ｗ８００×Ｈ１５００×Ｄ５００ |
| 電源 | ＡＣ１００Ｖ １０Ａ |
噴霧熱分解装置、加熱装置、分析装置、研究開発用設備、原子力・半導体関連装置、計測装置等の開発・設計・製造・販売、オーエヌ総合電機株式会社
製品情報
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